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Improvement of the thickness distribution of a quartz crystal wafer by numerically controlled plasma chemical vaporization machining

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Masafumi Shibahara, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Tsuyoshi Sugiyama, Katsuyoshi Endo, and Yuzo Mori Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 9 Par: 0 Año: 2005

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