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Development of a laser-based high-precision six-degrees-of-freedom motion errors measuring system for linear stage

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Chien-Hung Liu, Wen-Yuh Jywe, Cheng-Chung Hsu, and Tung-Hui Hsu Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 5 Par: 0 Año: 2005

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