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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 76 Núm: 5 Par: 0 (2005) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Development of a laser-based high-precision six-degrees-of-freedom motion errors measuring system for linear stage

Chien-Hung Liu

Wen-Yuh Jywe

Cheng-Chung Hsu

and Tung-Hui Hsu

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. -

NÚMERO

Volumen: 76 Número: 5 Parte: 0 (2005)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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