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ARTÍCULO
TITULO

MEMS-based high speed scanning probe microscopy

E. C. M. Disseldorp    
F. C. Tabak    
A. J. Katan    
M. B. S. Hesselberth    
T. H. Oosterkamp    
J. W. M. Frenken    
and W. M. van Spengen    

Resumen

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