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MEMS-based high speed scanning probe microscopy

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E. C. M. Disseldorp, F. C. Tabak, A. J. Katan, M. B. S. Hesselberth, T. H. Oosterkamp, J. W. M. Frenken, and W. M. van Spengen

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 4 Par: 0 Año: 2010

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