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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 73 Núm: 5 Par: 0 (2002) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

An emissive probe with a rhenium filament for measuring plasma potential in a radio frequency oxygen plasma

Wilson

E. H. Jeong

J. Hershkowitz

N.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 2033 - 2037

NÚMERO

Volumen: 73 Número: 5 Parte: 0 (2002)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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