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An emissive probe with a rhenium filament for measuring plasma potential in a radio frequency oxygen plasma

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Wilson, E. H. Jeong, J. Hershkowitz, N. Pág. 2033 - 2037

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 73 Num: 5 Par: 0 Año: 2002

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