REVISTA
JOURNAL OF TRIBOLOGY

Inicio / JOURNAL OF TRIBOLOGY / Vol: 125 Núm: 3 Par: 0 (2003) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Pad Soaking Effect on Interfacial Fluid Pressure Measurements During CMP

Sum Huan Ng

Robert Hight

Chunhong Zhou

Inho Yoon

and Steven Danyluk

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 582 - 586

NÚMERO

Volumen: 125 Número: 3 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

Revistas destacadas

Acceso directo a los números publicados en la revista Infrastructures

Infrastructures

Acceso directo a los números publicados en la revista Informed Infraestructure

Informed Infraestructure

Acceso directo a los números publicados en la revista BiT

BiT

Acceso directo a los números publicados en la revista Revista de la Construcción

Revista de la Construcción

Ver todas las revistas