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Pad Soaking Effect on Interfacial Fluid Pressure Measurements During CMP

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Sum Huan Ng, Robert Hight, Chunhong Zhou, Inho Yoon, and Steven Danyluk Pág. 582 - 586

Revista: JOURNAL OF TRIBOLOGY Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 125 Num: 3 Par: 0 Año: 2003

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