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A low cost high resolution pattern generator for electron-beam lithography
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Pennelli, G. D Angelo, F. Piotto, M. Barillaro, G. Pellegrini, B.
Pág. 3579 - 3582
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 74 Num: 7 Par: 0 Año: 2003
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