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A simple double-focusing electrostatic ion beam deflector

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H. Kreckel, H. Bruhns, K. A. Miller, E. Wåhlin, A. Davis, S. Höckh, and D. W. Savin

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 6 Par: 0 Año: 2010

Investigation of a rf inductively coupled plasma ion source capable of highly uniform and collimated ion-beam generation

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V. Kanarov, A. Hayes, R. Yevtukhov, I. Kameyama, D. Siegfried, and E. Wåhlin

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

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