2 Artículos

Controllable optical emission spectroscopy diagnostic system for analysis of process chemistries

Solicitud

usuarios registrados

P. L. Stephan Thamban, Jimmy Hosch, and M. J. Goeckner

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 1 Par: 0 Año: 2010

Modified gaseous electronics conference reference cell for the study of plasma-surface-gas interactions

Solicitud

usuarios registrados

Goeckner, M. J. Marquis, J. M. Markham, B. J. Jindal, A. K. Joseph, E. A. Zhou, B.-S. Pág. 884 - 890

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 75 Num: 4 Par: 0 Año: 2004

« Anterior Página: 1 de 1 Siguiente »