|
|
|
|
|
Renier Koen, Izak J Van der Walt, Arnold A Jansen, Philippus L Crouse
Pág. 1 - 6
Die fluoorradikale wat in ?n nie-termiese CF4-radiofrekwensieplasma (glimontladingsplasma) opgewek word, reageer geredelik met silikoonkarbied (SiC) met die vorming van vlugtige SiF4 en CF4. In ?n spuitbedopstelling wat hier gebruik word, bewer...
ver más
|
|
|
|
|