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Using design of experiments method to model beamlet properties
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J. H. Peters, M. Tartz, and H. Neumann
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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
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Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006
Ion current density profile control of a scalable linear ion source and its application
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F. Scholze, H. Neumann, M. Tartz, J. Dienelt, and H. Schlemm
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
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Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006
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