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A pulser for medium-frequency modulated direct-current reactive sputter deposition of insulators

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Kiehne, G. T.; Lin, M. Z.; Wang, G.; Xiang, W. H.; Cao, H.; Ketterson, J. B Pág. 2560 - 2562

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 71 Num: 6 Par: 0 Año: 2000

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