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Electron cyclotron resonance plasma source by using Ku-band traveling-wave tube amplifier for broad ion-beam processing

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Toyohisa Asaji, Hiroshi Sasaki, Yushi Kato, Fuminobu Sato, Toshiyuki Iida, and Junji Saito

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

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