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Rapid photoreflectance spectroscopy for strained silicon metrology
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H. Chouaib, M. E. Murtagh, V. Guènebaut, S. Ward, P. V. Kelly, M. Kennard, Y. M. Le Vaillant, M. G. Somekh, M. C. Pitter, and S. D. Sharples
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 79 Num: 10 Par: 0 Año: 2008
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