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An apparatus for the measurement of internal stress and thermal expansion coefficient of metal oxide films
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Lee, Cheng-Chung; Tien, Chuen-Lin; Sheu, Wean-Shyang; Jaing, Chen
Pág. 2128 - 2133
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 72 Num: 4 Par: 0 Año: 2001
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