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High resolution energy analyzer for broad ion beam characterization

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V. Kanarov, D. Siegfried, P. Sferlazzo, A. Hayes, and R. Yevtukhov

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 9 Par: 0 Año: 2008

Investigation of a rf inductively coupled plasma ion source capable of highly uniform and collimated ion-beam generation

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V. Kanarov, A. Hayes, R. Yevtukhov, I. Kameyama, D. Siegfried, and E. Wåhlin

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

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