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Microwave ion source with permanent magnet for 100 keV ion implantation

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Jianchuan Ming, Qiqian Guo, Jinhui Wang, Weijiang Zhao, Yulan Bai, Qiliang Zhu, and Jia Ding

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

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