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Development of a local vacuum system for focused ion beam machining

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Tsuneaki Masuzawa, Yoshikazu Yoshida, Hiromichi Ikeda, Keigo Oguchi, Hikaru Yamagishi, and Yuji Wakabayashi

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 80 Num: 7 Par: 0 Año: 2009

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