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Applications of laser-generated surface acoustic waves for copper film process monitoring in integrated circuit industry (abstract)

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Gostein, M. Maznev, A. A. Krastev, P. Mazurenko, A. Pág. 738 - 738

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 74 Num: 1 Par: 2 Año: 2003

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