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New diagnostic method for monitoring plasma reactor walls: Multiple total internal reflection Fourier transform infrared surface probe

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Godfrey, Anna R.; Ullal, Saurabh J.; Braly, Linda B.; Edelberg, Erik A.; Vah Pág. 3260 - 3269

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 72 Num: 8 Par: 0 Año: 2001

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