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Combined in situ micromechanical cantilever-based sensing and ellipsometry
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Godin, M. Laroche, O. Tabard-Cossa, V. Beaulieu, L. Y. Grutter, P. Williams, P. J.
Pág. 4902 - 4907
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 74 Num: 11 Par: 0 Año: 2003
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