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Direct measurement of beam size in a spectroscopic ellipsometry setup

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Arthur Tay, Tuck Wah Ng, Yuheng Wang, and Shao Zhao

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 6 Par: 0 Año: 2008

Using the OPC Standard for Real-Time Process Monitoring and Control

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Jun Liu; Khiang Wee Lim; Weng Khuen Ho; Kay Chen Tan; Arthur Tay; Srinivasan, R. Pág. 54 - 59

Revista: IEEE SOFTWARE Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 22 Num: 6 Par: 0 Año: 2005

Estimation of wafer warpage profile during thermal processing in microlithography

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Arthur Tay, Weng Khuen Ho, Ni Hu, and Xiaoqi Chen Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 7 Par: 0 Año: 2005

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