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Direct coupling of pulsed radio frequency and pulsed high power in novel pulsed power system for plasma immersion ion implantation

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Chunzhi Gong, Xiubo Tian, Shiqin Yang, Ricky K. Y. Fu, and Paul K. Chu

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 4 Par: 0 Año: 2008

Direct temperature monitoring for semiconductors in plasma immersion ion implantation

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Tian, Xiubo; Chu, Paul K. Pág. 2839 - 2842

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 71 Num: 7 Par: 0 Año: 2000

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