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Compact extreme ultraviolet reflectometer for the characterization of grazing incidence optics based on a gas discharge light source

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Klaus Bergmann, Oliver Rosier, and Christof Metzmacher Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 4 Par: 0 Año: 2005

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