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Contactless excitation and measurement method for inspection of microstructures and thin films

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Kobayashi, T. Hara, T. Ohsawa, J. Yamaguchi, N. Pág. 2651 - 2654

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 73 Num: 7 Par: 0 Año: 2002

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