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Simultaneous determination of ultra-shallow junction depth and abruptness using thermal wave technique

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Salnick, A. Nicolaides, L. Opsal, J. Jain, A. Rogers, D. Robertson, L. Pág. 2144 - 2148

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 75 Num: 6 Par: 0 Año: 2004

Dynamics of the plasma and thermal waves in surface-modified semiconductors (invited)

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Salnick, A. Opsal, J. Pág. 545 - 549

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 74 Num: 1 Par: 2 Año: 2003

Study of low energy implants for ultrashallow junctions using thermal wave and optical techniques

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Nicolaides, L. Salnick, A. Opsal, J. Pág. 563 - 565

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 74 Num: 1 Par: 2 Año: 2003

Nondestructive analysis of ultrashallow junctions using thermal wave technology

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Nicolaides, L. Salnick, A. Opsal, J. Pág. 586 - 588

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 74 Num: 1 Par: 2 Año: 2003

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