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A six-degree-of-freedom precision motion stage

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Seugling, R. M. LeBrun, T. Smith, S. T. Howard, L. P. Pág. 2462 - 2468

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 73 Num: 6 Par: 0 Año: 2002

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