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Ion sources for the varying needs of ion implantation

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A. Hershcovitch, V. A. Batalin, A. S. Bugaev, V. I. Gushenets, B. M. Johnson, A. A. Kolomiets, G. N. Kropachev, R. P. Kuibeda, T. V. Kulevoy, I. V. Litovko, E. S. Masunov, E. M. Oks, V. I. Pershin, S. V. Petrenko, S. M. Polozov et al.

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

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