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Subcutoff microwave driven plasma ion sources for multielemental focused ion beam systems
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Jose V. Mathew, Abhishek Chowdhury, and Sudeep Bhattacharjee
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 79 Num: 6 Par: 0 Año: 2008
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