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High current vacuum-arc ion source for ion implantation and coating deposition technologies

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Alexander I. Ryabchikov, Igor A. Ryabchikov, Igor B. Stepanov, and Sergey V. Dektyarev

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

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