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Scanning homodyne interferometer for characterization of piezoelectric films and microelectromechanical systems devices

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Chen Chao, Zhihong Wang, Weiguang Zhu, and Ooikiang Tan Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 6 Par: 0 Año: 2005

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