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Improved hydrogen ionization rate in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation by enlarging the interaction path using an insulating tube

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Zhuo Wang, Ying Zhu, Liu He Li, Qiu Yuan Lu, Fu Shun He, Dan Dan Dun, Fen Li, Ricky K. Y. Fu, and Paul K. Chu

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 82 Num: 2 Par: 0 Año: 2011

Direct coupling of pulsed radio frequency and pulsed high power in novel pulsed power system for plasma immersion ion implantation

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Chunzhi Gong, Xiubo Tian, Shiqin Yang, Ricky K. Y. Fu, and Paul K. Chu

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 4 Par: 0 Año: 2008

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