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Mechanism for Subambient Interfacial Pressures While Polishing With Liquids

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Joseph A. Levert, Steven Danyluk, and John Tichy Pág. 450 - 457

Revista: JOURNAL OF TRIBOLOGY Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 122 Num: 2 Par: 0 Año: 2000

Interfacial Fluid Mechanics and Pressure Prediction in Chemical Mechanical Polishing

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Lei Shan, Joseph Levert, Lorne Meade, John Tichy, and Steven Danyluk Pág. 539 - 543

Revista: JOURNAL OF TRIBOLOGY Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 122 Num: 3 Par: 0 Año: 2000

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