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Control of voice coil motor nanoscanners for an atomic force microscopy system using a loop shaping technique

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Woosub Youm, Jongkyu Jung, SungQ Lee, and Kyihwan Park

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 1 Par: 0 Año: 2008

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