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Multichannel ellipsometer for real time spectroscopy of thin film deposition from 1.5 to 6.5 eV

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Zapien, J. A.; Collins, R. W.; Messier, R. Pág. 3451 - 3460

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 71 Num: 9 Par: 0 Año: 2000

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