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Surface cleaning and modification of Si(100) substrates by ethanol and water cluster ion beams

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Gikan H. Takaoka, Hidetaka Noguchi, Kazuya Nakayama, Takato Seki, and Masakazu Kawashita

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

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