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Error-reduced channeled spectroscopic ellipsometer with palm-size sensing head

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Hiroshi Okabe, Masayuki Hayakawa, Junichi Matoba, Hitoshi Naito, and Kazuhiko Oka

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 80 Num: 8 Par: 0 Año: 2009

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