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Egor Kiselev,Tetyana Krytska,Nina Stroiteleva,Konstantin Turyshev     Pág. 46 - 52
The problem of constructing a thermal sensor based on the technology of microelectromechanical systems is solved by structural and circuit integration of capacitance-dependent and thermomechanical parts. For this, the use of a MOS transistor (capacitance... ver más
Revista: Eastern-European Journal of Enterprise Technologies    Formato: Electrónico

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