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Compact electrostatic beam optics for multi-element focused ion beams: Simulation and experiments

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Jose V. Mathew and Sudeep Bhattacharjee

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 82 Num: 1 Par: 0 Año: 2011

Subcutoff microwave driven plasma ion sources for multielemental focused ion beam systems

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Jose V. Mathew, Abhishek Chowdhury, and Sudeep Bhattacharjee

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 6 Par: 0 Año: 2008

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