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Electron cyclotron resonance harmonics and wall material effects in a microwave discharge

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Aanesland, A. Fredriksen, A. Pág. 4336 - 4341

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 74 Num: 10 Par: 0 Año: 2003

Characterization of a high-density electron-cyclotron resonance plasma source operating in nitrogen

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Toader, E. I. Fredriksen, A. Aanesland, A. Pág. 3279 - 3283

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 74 Num: 7 Par: 0 Año: 2003

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