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Accurate microfour-point probe sheet resistance measurements on small samples

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Sune Thorsteinsson, Fei Wang, Dirch H. Petersen, Torben Mikael Hansen, Daniel Kjær, Rong Lin, Jang-Yong Kim, Peter F. Nielsen, and Ole Hansen

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 80 Num: 5 Par: 0 Año: 2009

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