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Realization of nanoscale resolution with a micromachined thermally actuated testing stage

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Lu, S. Dikin, D. A. Zhang, S. Fisher, F. T. Lee, J. Ruoff, R. S. Pág. 2154 - 2162

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 75 Num: 6 Par: 0 Año: 2004

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