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Figuring with subnanometer-level accuracy by numerically controlled elastic emission machining

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Yamauchi, K. Mimura, H. Inagaki, K. Mori, Y. Pág. 4028 - 4033

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 73 Num: 11 Par: 0 Año: 2002

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