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A microfabricated sensor for thin dielectric layers

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P. Fierlinger, R. DeVoe, B. Flatt, G. Gratta, M. Green, S. Kolkowitz, F. Leport, M. Montero Diez, R. Neilson, K. O'Sullivan, A. Pocar, and J. Wodin

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 4 Par: 0 Año: 2008

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