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Radio frequency-compensated Langmuir probe with auxiliary double probes

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Se-Jin Oh, Seung-Ju Oh, and Chin-Wook Chung

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 9 Par: 0 Año: 2010

New interpolation algorithm for evaluation a spatial profile of plasma densities in radio frequency discharges

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Se-Jin Oh, Sung-Ho Jang, Young-Cheol Kim, and Chin-Wook Chung

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 5 Par: 0 Año: 2010

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