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Scalloping and Stress Concentration in DRIE-Manufactured Comb-Drives

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Silvia Bertini, Matteo Verotti, Alvise Bagolini, Pierliugi Bellutti, Giuseppe Ruta and Nicola Pio Belfiore

Revista: Actuators Formato: Electrónico

Tabla de contenido: Vol: 7 Num: 3 Par: September Año: 2018

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