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Damage-free polishing of monocrystalline silicon wafers without chemical additives
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A.Q. Biddut, L.C. Zhang, Y.M. Ali, Z. Liu
Pág. 1178 - 1181
Revista:
SCRIPTA MATERIALIA
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 59 Num: 11 Par: 0 Año: 2008
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